电子探针的最开始主要用途是金属学。对铝合金中各构成相、参杂物等能作判定和定性分析，形象化而便捷，还能较精确地测量原素的外扩散和缩松状况。除此之外，它还可用以科学研究金属复合材料的空气氧化和浸蚀难题，测量塑料薄膜、渗层或涂层的薄厚和成份等，是机械设备预制构件失灵说明、生产工艺流程的挑选、独特用料的分析等的关键方式。

电子探针能够 对试件中细微地区的有机化学构成开展判定或定性分析。能够 开展点、线扫描仪、面扫描仪剖析。还能自动式开展大批量定性分析。电子探针技术性具备实际操作快速简单、试验結果的表述直接了当、剖析全过程不毁坏试品、精确测量精确度较高优势。故在冶金工业、地质学、电子原材料、微生物、医药学、考古学及其其他行业中获得日渐普遍地运用，是矿物质检测剖析和试品成分检测的关键专用工具。